洁净室的定义

微电子产业研发、生产的对象为晶圆（Wafer），晶圆在无尘工厂（Fab）里被制造（Fabrication）出来，再进行封装测试等环节；这些生产过程对工厂空间环境要求相当严格，环境温度、湿度、风速、空气微尘含量、静电、光照等都会影响晶圆的良率Yield）；因此，需要一个特殊的生产环境，即无尘洁净室（Clean Room），又称为无尘室、洁净室或无尘车间。

洁净室的分类方法众多，根据研究对象的不同可以分为工业级和生物级两大类。工业级主要用于微电子、航空航天、核工业等高科技行业，一般对空气中悬浮粒子粒径和浓度进行控制；生物级主要用于生物病原体研究、医学疫苗生产等，主要控制对象为医学微生物 。

洁净室对室内环境要求极高，需要对室内流动空气悬浮粒子浓度进行严格控制，在洁净室的使用过程中应减少对室内空气悬浮粒子的引入、产生及滞留，这需要对洁净室进行定期清洁、保养、检测；并对室内其他有关参数如洁净度、室温、湿度、静电、气压等按要求进行控制；不论洁净室外界环境如何变化，洁净室内均能维持恒定的室内环境参数性能，以满足科研、生产使用需求 。